眾所周知我國高鐵是當(dāng)前是世界上最先進的忆某，其快速平穩(wěn)的特點受到了來自世界各地人民的稱贊衡载。高速運行的列車想要保持平穩(wěn)允乐，必定需要一個中樞大腦實時的經(jīng)行跟蹤檢測，這其中加速度傳感器就扮演著這個角色茫因。
加速度傳感器負(fù)責(zé)對動車組的失穩(wěn)蚪拦、車廂舒適度和走行部件健康狀態(tài)進行檢測，廣泛應(yīng)用于軌道交通系統(tǒng)冻押。
“要保證動車組高速平穩(wěn)行駛驰贷，首先要由加速度傳感器對來自X（軸）、Y（徑）和Z（垂）向的應(yīng)力進行實時監(jiān)測翼雀，并將電信號傳輸給列車指揮系統(tǒng)饱苟。”北京交通大學(xué)教授秦勇告訴科技日報記者狼渊，加速度敏感器件負(fù)責(zé)完成電信號的傳輸箱熬，是高端加速度傳感器中的核心部件。
我國軌道交通的快速發(fā)展對加速度傳感器的需求巨大狈邑，但是我國在加速度傳感器行業(yè)的生產(chǎn)力技術(shù)有限城须，不能滿足國內(nèi)的市場，進口達(dá)到80%以上米苹。
加速度敏感器件屬高端芯片糕伐，多采用MEMS工藝制造。
MEMS是一門綜合學(xué)科蘸嘶，涵蓋微尺度下的力良瞧、電、光训唱、磁褥蚯、聲、原子况增、表面等物理學(xué)的各分支赞庶，乃至化學(xué)、生物澳骤、醫(yī)學(xué)和儀器等各領(lǐng)域歧强，學(xué)科交叉很強，研究難度很大为肮。
“MEMS工藝則是在傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工藝和材料基礎(chǔ)上摊册，利用平面硅加工工藝、體硅加工工藝等微納米技術(shù)颊艳，在硅片上制造微型機械敏感器件茅特，并將其與對應(yīng)電路集成為一個整體的技術(shù)蟆沫。”相比傳統(tǒng)的厘米級機械器件温治，MEMS器件尺寸非常微小，長度從1毫米到1微米戒悠，而一根頭發(fā)絲的直徑大約是50微米熬荆。
目前全球擁有整個MEMS產(chǎn)業(yè)鏈的公司基本為美日歐公司，有博世绸狐、霍尼韋爾卤恳、ST（意法半導(dǎo)體）、索尼寒矿、ALLEGRO突琳、AKM、TDK符相、英飛凌等拆融，全球市場占有率達(dá)90%以上。
為保障高鐵的故障率僅允許的百萬分之一啊终，高可靠性的敏感元器件镜豹，是加速度傳感器集成商的必然選擇。呂陽透露蓝牲，目前世界最先進的敏感器件為三軸趟脂，標(biāo)準(zhǔn)為零點偏置±50mg甚至更小、零點溫度誤差±1mg/℃例衍、靈敏度溫度誤差±100ppm/℃昔期、噪聲低至30μg/√Hz，且使用壽命基本在10年以上佛玄。
而國內(nèi)規(guī)模最大的專做MEMS的企業(yè)目前能形成量產(chǎn)的還是兩軸產(chǎn)品硼一，僅能測量X、Y向翎嫡。
起步晚欠动、人才匱乏、資金不足是我國加速度傳感器落后于世界的原因惑申，未來我國傳感器企業(yè)想要獲的更多的訂單具伍，一定要努力提升硬實力，在研發(fā)和人才引進培養(yǎng)上多下功夫圈驼，發(fā)揚我國集中力量辦大事的風(fēng)格人芽，追上國際先進水平。
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