姓名：高巖? ? ? ? 學(xué)號(hào)：13020199025
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【嵌牛導(dǎo)讀】：利用全新的真空互聯(lián)技術(shù)月劈，可以從本質(zhì)上認(rèn)識(shí)納米材料與器件中的量子效應(yīng)橡卤，進(jìn)行表啰劲、界面精確調(diào)控，實(shí)現(xiàn)新型半導(dǎo)體材料與器件的創(chuàng)新郭宝。
【嵌牛鼻子】：真空互聯(lián)技術(shù)
【嵌牛提問】：真空互聯(lián)技術(shù)是否有助于半導(dǎo)體技術(shù)突破現(xiàn)有器件尺度與集成度極限？
【嵌牛正文】：
日前掷漱，由中科院蘇州納米所牽頭承辦的第608次香山科學(xué)會(huì)議在蘇州舉行粘室，來自國內(nèi)外的40多位專家學(xué)者參會(huì)。本次大會(huì)的主題為“化合物半導(dǎo)體器件的異質(zhì)集成與界面調(diào)控”卜范，中科院院士李樹深衔统、黃如、中科院蘇州納米所所長楊輝海雪、香港大學(xué)教授謝茂海擔(dān)任本次大會(huì)的執(zhí)行主席锦爵。
半導(dǎo)體與集成電路在人類社會(huì)各領(lǐng)域的應(yīng)用越來越廣泛，也越來越重要喳魏。經(jīng)歷半個(gè)多世紀(jì)的發(fā)展棉浸，硅集成電路日前的器件尺度與集成度已接近現(xiàn)有技術(shù)的極限。中科院蘇州納米所王永疆博士介紹刺彩，隨著硅集成電路的高度發(fā)展迷郑，III－V族化合物（主要包括鎵化砷、磷化銦和氮化鎵）半導(dǎo)體材料與器件的開發(fā)和應(yīng)用越來越受到廣泛關(guān)注创倔，已經(jīng)成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的另外一個(gè)支柱嗡害。硅半導(dǎo)體與化合物半導(dǎo)體的結(jié)合是未來信息發(fā)展領(lǐng)域的一個(gè)必然趨勢∑枞粒“異質(zhì)集成與界面調(diào)控是該領(lǐng)域的關(guān)鍵共性難題霸妹，其背后深層次的科學(xué)問題在于表面／界面的本征性質(zhì)、量子效應(yīng)及原子操控等知押。利用全新的真空互聯(lián)技術(shù)叹螟，可以從本質(zhì)上認(rèn)識(shí)納米材料與器件中的量子效應(yīng)鹃骂，進(jìn)行表、界面精確調(diào)控罢绽，實(shí)現(xiàn)新型半導(dǎo)體材料與器件的創(chuàng)新”畏线，王永疆說。
納米真空互聯(lián)綜合實(shí)驗(yàn)站是一個(gè)用于材料生長良价、器件加工寝殴、測試分析的完整系統(tǒng)。所有樣品均可在超高真空環(huán)境中準(zhǔn)確明垢、快速蚣常、平穩(wěn)地進(jìn)行傳送∪《中國科學(xué)報(bào)》記者了解到抵蚊，目前中科院蘇州納米所正在建設(shè)全世界規(guī)模最大、功能最全曼验，集材料生長泌射、測試分析、器件工藝于一體的納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)大裝置鬓照，建成后將對(duì)發(fā)展新一代納米電子與器件研究有重要促進(jìn)作用熔酷。目前，這個(gè)納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)大裝置一期建設(shè)進(jìn)展順利豺裆，部分設(shè)備已經(jīng)互聯(lián)拒秘，在歐姆接觸、能帶工程數(shù)據(jù)庫等方面的研究取得初步進(jìn)展臭猜，最終目標(biāo)是建成總長約500米的超高真空管道躺酒，實(shí)現(xiàn)上百臺(tái)儀器設(shè)備的互聯(lián)。
會(huì)議期間蔑歌，與會(huì)專家還就未來納米光電器件研究羹应、硅基化合物半導(dǎo)體材料與器件集成研究、新型二維材料研究及器件探索等議題進(jìn)行了深入研討次屠。
