以反相器為例瑟匆。
Tool → Library manager
選中一個(gè)庫(kù)
File → new → cell view
1. 原理圖
新建一個(gè)庫(kù),向庫(kù)中新建cell脸哀,新建cell后會(huì)自動(dòng)彈出原理圖繪制界面
先畫(huà)原理圖:
快捷鍵介紹:
(1)添加元器件:i凰狞,左鍵放置、右鍵旋轉(zhuǎn)菲饼、Esc推出載入
(2)查看器件參數(shù)值:選中某元件后按q
(3)保存電路原理圖:x
(4)撤銷(xiāo)上次操作:u
(5)居中顯示原理圖:f
(6)縮小顯示窗口:[
(7)放大顯示窗口:]
(8)退出:Esc
(9)移動(dòng)pin:選中后按鍵盤(pán)的shift+m,單擊右鍵是旋轉(zhuǎn)
注意:pin命名最好大寫(xiě)(因?yàn)橛行┕に囍瞥滔逻M(jìn)行LVS/DRC檢測(cè)的時(shí)候汛兜,只認(rèn)大寫(xiě))
2. symbol
原理圖畫(huà)完之后巴粪,要建立symbol用于仿真:
3. testbench
隨后要基于建立的symbol通今,畫(huà)testbench
畫(huà)testbench時(shí)需要對(duì)具體工作情景建模粥谬,然后選擇相應(yīng)的器件肛根。
從芯片外部引入的電源和地,會(huì)存在封裝上引線(xiàn)的電感漏策,對(duì)于這個(gè)電感的模型是需要模擬出來(lái)的派哲,在電路仿真中需要把這個(gè)電感的模型帶入到testbench中,在這里要添加一個(gè)理想的電感掺喻。
對(duì)于常規(guī)的QFN\QFP的封裝芭届,1um bonding線(xiàn)(金線(xiàn))等效的電感值在1nH左右、等效阻抗50mΩ感耙,連在引腳上的電源的引線(xiàn)大概有2um左右褂乍,由于地線(xiàn)不是直接bonding到封裝的管腳上,而是bounding到芯片背面大片的金屬地上即硼,這是個(gè)單bond逃片、引線(xiàn)電感會(huì)小一些,一般在1mm以?xún)?nèi)只酥,設(shè)為1nH褥实,阻抗50mΩ
(10)引線(xiàn)命名:l(小寫(xiě)的L)
(11)進(jìn)入下一層:e
(12)返回上一層:ctrl+e
(13)電感:ind,電容:cap裂允,電壓脈沖發(fā)生器:vpulse
觀察輸出波形损离,需要增加元器件電容,作為輸出的負(fù)載绝编。
4. 仿真
仿真:Tools → analog environment僻澎,這里進(jìn)行了直流仿真和瞬態(tài)仿真
Print直流工作點(diǎn)的方法:
畫(huà)圖方法:
有兩種畫(huà)圖風(fēng)格可供選擇:
inverter仿真;減小P管寬長(zhǎng)比帶來(lái)的影響(藍(lán)色)十饥,翻轉(zhuǎn)閾值下降了(可以理解成PMOS需要更低的柵極電壓才可以開(kāi)啟)
5. 版圖設(shè)計(jì)
基于原理圖生成版圖:
LSW:版圖設(shè)計(jì)時(shí)所有層的信息
深N阱(DNW)可以理解為在P-sub上面隔離出來(lái)的一塊獨(dú)立區(qū)域绷跑,里邊可以做需要的device拳恋,有與外界隔離的作用。于一般的PMOS而言砸捏,可以通過(guò)放在不同的NWELL里面來(lái)相互隔離谬运;而對(duì)NMOS而言,它們的well(P-sub)會(huì)通過(guò)wafer的p-sub short在一起(因?yàn)槎际荘型)垦藏,相互串?dāng)_梆暖,互相影響。DNW里邊的P-sub與外界的P-sub是隔離的掂骏,因此能削弱相互之間的影響轰驳。因?yàn)檫@個(gè)阱比一般的N well要深很多,所以稱(chēng)為deep N well。除了電位上的隔離级解,比如說(shuō)有好幾種地電位(0V冒黑、-3.3V、-6V等)勤哗,一般會(huì)把害怕被別的模塊影響(reference電路抡爹、temperature sensor等)或者怕會(huì)去影響別的模塊的IP(PLL、OSC等)放在DNW里面芒划。
本工藝下用到的是1P6M的配置民逼,只用到了M1~M6泵殴,1層多晶硅,6層金屬互連層拼苍,
e.g.:
v1:M1到M2之間的過(guò)孔
v2:M2到M3之間的過(guò)孔
(14)顯示版圖的所有層次:shift + f
(15)以框圖顯示版圖:ctrl + f
打散Pcell:
設(shè)置格點(diǎn)分辨率:
顯示連線(xiàn)關(guān)系:
options→display
(16)連線(xiàn)快捷鍵:p(敲p后點(diǎn)擊連接起始端,選擇要連的層映屋,再單擊結(jié)束端苟鸯,再回車(chē)結(jié)束)
(17)尺子:k
(18)清除尺子:shift + k
(19)畫(huà)矩形:r
(20)逐步縮小版圖:shift + z
(21)只看某一層:(例如只看M1)LSW窗口選中M1,點(diǎn)擊NV棚点,點(diǎn)擊版圖界面早处,敲f
(22)整體移動(dòng)版圖某區(qū)域,且相應(yīng)線(xiàn)拉伸:先將selection mode(options→selection)由full改為partial瘫析,然后左鍵框選相應(yīng)區(qū)域砌梆,敲s后拖動(dòng)到相應(yīng)位置后,左鍵取消選中
襯底接觸環(huán)(N阱保護(hù)環(huán))贬循,guard ring