中文全稱：屏蔽柵溝槽心软。英文全稱：Shield Gate Trench癞蚕。 海飛樂(lè)技術(shù)屏蔽柵/分立柵MOSFET技術(shù)(Shield Gate Trench MOSFET)蕊爵，MOS器件第一個(gè)深溝槽(Deep Trench)作為“體內(nèi)場(chǎng)板”在反向電壓下平衡漂移區(qū)電荷，這樣可以降低漂移區(qū)的電阻率涣达，從而降低器件的比導(dǎo)通電阻(RSP)和柵極電荷(Qg)在辆。第二個(gè)源極溝槽(Source Trench)作為有源區(qū)接觸電極证薇，該設(shè)計(jì)能減小原胞尺寸(Pitch Size)和改善器件比導(dǎo)通電阻，有利于提高器件高溫匆篓、大電流能力及EAS能力浑度。第三個(gè)柵極溝槽(Gate Trench)作為有柵極接觸電極，該設(shè)計(jì)能優(yōu)化器件MOS工藝流程鸦概，降低產(chǎn)品生產(chǎn)成本箩张，同時(shí)提高產(chǎn)品良率。
SGT技術(shù)MOS
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