COG液晶屏制造工藝至今已有近十年的發(fā)展歷史,它的發(fā)展與IC的小型化宙搬、超薄化以及LCD顯示屏光 刻精度的精細(xì)化是密不可分的笨腥,我司生產(chǎn)COG液晶屏也有近6年的時(shí)間了,積累了大量寶貴的經(jīng)驗(yàn)勇垛。
1脖母、COG工藝流程如下所示。
LCD顯示屏->將ACF邦貼到屏上->將裸芯片從芯片拖盤中取出->檢查裸芯片的對位標(biāo)記->檢查LCD屏上對位標(biāo)記->芯片與LCD屏對位->熱壓頭將芯片與LCD屏邦貼到一起->整個(gè)邦貼過程完成
2闲孤、工藝要點(diǎn)
(1)????邦定IC時(shí)要求IC對位標(biāo)志與LCD屏上的對位標(biāo)志吻合谆级;
(2)????需用無塵布沾溶劑清除液晶屏上壓著區(qū)的異物,使用UV燈清除液晶屏上壓著區(qū)的有機(jī)?物;
(3)????ACF貼附精度為+100μM肥照;
(4)????要注意ACF的儲存條件和控制好ACF邦定的時(shí)間脚仔、熱壓溫度和壓頭的壓力。ACF反應(yīng)率要求達(dá)到80%以上舆绎。例如使用日立(HITACHI)公司的AC-8304Y的ACF鲤脏,其保存條件為:在室溫約25℃和濕度70%RH情況下,有效期1個(gè)月吕朵;在溫度-10℃~5℃時(shí)有效期為6個(gè)月猎醇。ACF使用工藝條件:貼ACF溫度100±10℃(ACF的實(shí)際溫度),壓強(qiáng)約1Mpa努溃,時(shí)間1~5秒硫嘶,主壓壓強(qiáng)約50~150Mpa(指每個(gè)IC?BUMP上的壓強(qiáng),根據(jù)ACF中導(dǎo)電球的受壓效果決定壓力的大形嗨啊)沦疾。ACF溫度220±20℃(ACF的實(shí)際溫度),時(shí)間7~10秒贡蓖。所有ACF從冰箱中取出后需在室溫條件下?放置1小時(shí)后方可打開包裝曹鸠;
(5)????必須確保前工序光刻工藝的成品率煌茬,嚴(yán)格控制斷筆和連筆(主要在IC接口處)斥铺;
(6)????LCD屏需經(jīng)嚴(yán)格測試,防止廢品漏測坛善,造成材料浪費(fèi)及品質(zhì)不良晾蜘;
(7)????顯微鏡下全檢防止斷筆流出,要求IC電極上的導(dǎo)電粒子壓痕至少5個(gè),相鄰BUMP之間?不能互相接觸眠屎;
(8)????COG成品必須100%檢測剔交;
(9)????COG-LCD產(chǎn)品一般多為高密度產(chǎn)品,制造時(shí)要求光刻段的分辨率較高改衩,PI定向膜與摩擦均勻性較好岖常,在線間隙小于15μM時(shí)要求增加TOP(涂覆絕緣層)工藝,以避免短斷路葫督、顯示?不均竭鞍、串?dāng)_和功耗電流大等現(xiàn)象的出現(xiàn);
(10)????COG常見不良品包括:IC異物橄镜、IC壓痕不良偎快、ACF貼附不良、IC對位偏移洽胶、IC厚度?不均晒夹、IC電遇不良、IC破裂/刮傷、IC?BUMP不良等丐怯。
3喷好、光刻精度??光刻精度是指制作LCD顯示屏?xí)r能夠刻蝕出來的線條和間隙的精細(xì)尺寸,COG產(chǎn)品多為高密度產(chǎn)品读跷,LCD與IC?連接處走線較密绒窑。COG產(chǎn)品引線的PITCH(線寬加線間距)值一般在?50μM以下,IC接口線一般在?40μM以下舔亭。目前國內(nèi)已有部分廠家其COG產(chǎn)品的PITCH值控制在?20μM,這意?味著其引線或線間隙的加工精度已達(dá)到10μM左右些膨。
4、材料要求??透明導(dǎo)電玻璃(即在平整度好钦铺、透光率高订雾、曲翹度很小的玻璃表面鍍上透明導(dǎo)電膜)要求阻值較低,方塊電阻一般在30Ω以內(nèi)矛洞,PI(聚酰亞胺洼哎、定向材料)、液晶等材料要求純度較高沼本,即電阻率?大噩峦。?ACF(Anisotropic?Conductive?Film)是一種各向異性導(dǎo)電膜,在垂直方向?qū)щ姵檎祝谒椒较?絕緣识补。主要組成是粘著劑和導(dǎo)電粒子。
5辫红、潔凈度要求??COG產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求1000級的潔凈度,即潔凈室里>=0.5微米的粒子濃度<=1000粒/升凭涂。