20161226

光學(xué)鍍膜更換鋁箔，上午TiO2 離子源條件beam 550疫诽、500,ACC600，下午納睿ARHR奇徒。

lpcvd 50片4寸雏亚，DSC172sccm, NH3

43sccm 壓力160mtorr摩钙，速率4A/s，應(yīng)力350～450MPa，150nm生長時間36.5＋1min

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