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先一張圖概括作用:
Mos管增強型和耗盡型
增強型場效應(yīng)管
所謂增強型是指:當(dāng)VGS=0時管子是呈截止?fàn)顟B(tài)梢褐,加上正確的VGS后攀操,多數(shù)載流子被吸引到柵極,從而“增強”了該區(qū)域的載流子跟继,形成導(dǎo)電溝道挎挖。當(dāng)柵極加有電壓時蕉朵,若0<VGS<VGS(th)時始衅,通過柵極和襯底間形成的電容電場作用锚烦,將靠近柵極下方的P型半導(dǎo)體中的多子空穴向下方排斥涮俄,出現(xiàn)了一薄層負(fù)離子的耗盡層彻亲;同時將吸引其中的少子向表層運動苞尝,但數(shù)量有限宙址,不足以形成導(dǎo)電溝道,將漏極和源極溝通抡砂,所以仍然不足以形成漏極電流ID注益。進一步增加VGS,當(dāng)VGS>VGS(th)時( VGS(th)稱為開啟電壓)厦瓢,由于此時的柵極電壓已經(jīng)比較強啤月,在靠近柵極下方的P型半導(dǎo)體表層中聚集較多的電子谎仲,可以形成溝道强重,將漏極和源極溝通间景。如果此時加有漏源電壓倘要,就可以形成漏極電流ID封拧。在柵極下方形成的導(dǎo)電溝道中的電子泽西,因與P型半導(dǎo)體的載流子空穴極性相反,故稱為反型層。隨著VGS的繼續(xù)增加,ID將不斷增加陕见。在VGS=0V時ID=0,只有當(dāng)VGS>VGS(th)后才會出現(xiàn)漏極電流味抖,所以,這種MOS管稱為增強型MOS管。VGS對漏極電流的控制關(guān)系可用iD=f(VGS(th))|VDS=const這一曲線描述仔涩,稱為轉(zhuǎn)移特性曲線,如下圖
增強型場效應(yīng)管工作原理
(1)N溝道增強型場效應(yīng)管
N溝道增強型MOSFET基本上是一種左右對稱的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)熔脂,它是在P型半導(dǎo)體上生成一層SiO2 薄膜絕緣層,然后用光刻工藝擴散兩個高摻雜的N型區(qū)锤悄,從N型區(qū)引出電極(漏極D韧骗、源極S)。在源極和漏極之間的絕緣層上鍍一層金屬鋁作為柵極G袍暴。P型半導(dǎo)體稱為襯底政模,用符號B表示蚂会。柵源電壓VGS的控制作用:當(dāng)VGS=0 V時趁猴,漏源之間相當(dāng)兩個背靠背的二極管刊咳,在D、S之間加上電壓不會在D捕犬、S間形成電流跷坝。
N溝道增強型MOSFET的結(jié)構(gòu)示意圖,如下圖所示碉碉。它是用一塊摻雜濃度較低的P型硅片作為襯底柴钻,利用擴散工藝在襯底上擴散兩個高摻雜濃度的N型區(qū)(用N+表示),并在此N型區(qū)上引出兩個歐姆接觸電極垢粮,分別稱為源極(用S表示)和漏極(用D表示)贴届。在源區(qū)、漏區(qū)之間的襯底表面覆蓋一層二氧化硅(SiO2)絕緣層足丢,在此絕緣層上沉積出金屬鋁層并引出電極作為柵極(用G表示)粱腻。從襯底引出一個歐姆接觸電極稱為襯底電極(用B表示)。由于柵極與其它電極之間是相互絕緣的斩跌,所以稱它為絕緣柵型場效應(yīng)管绍些。
當(dāng)柵極G和源極S之間不加任何電壓,即UGS=0時,由于漏極和源極兩個N+型區(qū)之間隔有P型襯底耀鸦,相當(dāng)于兩個背靠背連接的PN結(jié)柬批,它們之間的電阻高達1012W的數(shù)量級,也就是說D袖订、S之間不具備導(dǎo)電的溝道氮帐,所以無論漏、源極之間加何種極性的電壓洛姑,都不會產(chǎn)生漏極電流ID严拒。
當(dāng)將襯底B與源極S短接揩瞪,在柵極G和源極S之間加正電壓坯苹,即UGS﹥0時,如下圖(a)所示犀农,則在柵極與襯底之間產(chǎn)生一個由柵極指向襯底的電場。在這個電場的作用下硫眯,P襯底表面附近的空穴受到排斥將向下方運動蕴侧,電子受電場的吸引向襯底表面運動,與襯底表面的空穴復(fù)合两入,形成了一層耗盡層净宵。如果進一步提高UGS電壓,使UGS達到某一電壓UT時,P襯底表面層中空穴全部被排斥和耗盡择葡,而自由電子大量地被吸引到表面層紧武,由量變到質(zhì)變,使表面層變成了自由電子為多子的N型層刁岸,稱為“反型層”脏里,如下圖(b)所示。反型層將漏極D和源極S兩個N+型區(qū)相連通虹曙,構(gòu)成了漏、源極之間的N型導(dǎo)電溝道番舆。把開始形成導(dǎo)電溝道所需的UGS值稱為閾值電壓或開啟電壓酝碳,用UT表示。顯然恨狈,只有UGS﹥UT時才有溝道疏哗,而且UGS越大,溝道越厚禾怠,溝道的導(dǎo)通電阻越小返奉,導(dǎo)電能力越強。這就是為什么把它稱為增強型的緣故吗氏。
在UGS﹥UT的條件下芽偏,如果在漏極D和源極S之間加上正電壓UDS,導(dǎo)電溝道就會有電流流通弦讽。漏極電流由漏區(qū)流向源區(qū)污尉,因為溝道有一定的電阻,所以沿著溝道產(chǎn)生電壓降往产,使溝道各點的電位沿溝道由漏區(qū)到源區(qū)逐漸減小被碗,靠近漏區(qū)一端的電壓UGD最小,其值為UGD=UGS-UDS,相應(yīng)的溝道最狈麓濉锐朴;靠近源區(qū)一端的電壓最大,等于UGS,相應(yīng)的溝道最厚蔼囊。這樣就使得溝道厚度不再是均勻的焚志,整個溝道呈傾斜狀。隨著UDS的增大压真,靠近漏區(qū)一端的溝道越來越薄娩嚼。
當(dāng)UDS增大到某一臨界值,使UGD≤UT時滴肿,漏端的溝道消失岳悟,只剩下耗盡層,把這種情況稱為溝道“預(yù)夾斷”,如下圖(a)所示贵少。繼續(xù)增大UDS(即UDS>UGS-UT)呵俏,夾斷點向源極方向移動,如下圖(b)所示滔灶。盡管夾斷點在移動普碎,但溝道區(qū)(源極S到夾斷點)的電壓降保持不變,仍等于UGS-UT录平。因此,UDS多余部分電壓[UDS-(UGS-UT)]全部降到夾斷區(qū)上麻车,在夾斷區(qū)內(nèi)形成較強的電場。這時電子沿溝道從源極流向夾斷區(qū)斗这,當(dāng)電子到達夾斷區(qū)邊緣時动猬,受夾斷區(qū)強電場的作用,會很快的漂移到漏極.(插圖對電導(dǎo)的影響)表箭、
(2)P溝道增強型場效應(yīng)管
P溝道增強型MOS管的結(jié)構(gòu)示意圖赁咙,通過光刻、擴散的方法或其他手段免钻,在N型襯底(基片)上制作出兩個摻雜的P區(qū)彼水,分別引出電極(源極S和漏極D),同時在漏極與源極之間的SO絕緣層上制作金屬极舔,稱為柵極G凤覆。
在正常工作時,P溝道增強型MOS管的襯底必須與源極相連姆怪,而漏心極對源極的電壓Vds應(yīng)為負(fù)值叛赚,以保證兩個P區(qū)與襯底之間的PN結(jié)均為反偏。
耗盡型場效應(yīng)管
耗盡型MOS場效應(yīng)管稽揭,是在制造過程中俺附,預(yù)先在SiO2絕緣層中摻入大量的正離子,因此溪掀,在UGS=0時事镣,這些正離子產(chǎn)生的電場也能在P型襯底中“感應(yīng)”出足夠的電子,形成N型導(dǎo)電溝道揪胃。當(dāng)UDS>0時璃哟,將產(chǎn)生較大的漏極電流ID。如果使UGS<0喊递,則它將削弱正離子所形成的電場随闪,使N溝道變窄,從而使ID減小骚勘。當(dāng)UGS更負(fù)铐伴,達到某一數(shù)值時溝道消失撮奏,ID=0。使ID=0的UGS我們也稱為夾斷電壓当宴,仍用UP表示畜吊。UGS
耗盡型場效應(yīng)管工作原理
(1)N溝道耗盡型場效應(yīng)管
溝道耗盡型MOSFET的結(jié)構(gòu)與增強型MOSFET結(jié)構(gòu)類似,只有一點不同户矢,就是N溝道耗盡型MOSFET在柵極電壓uGS=0時玲献,溝道已經(jīng)存在。該N溝道是在制造過程中應(yīng)用離子注入法預(yù)先在襯底的表面梯浪,在D捌年、S之間制造的,稱之為初始溝道驱证。N溝道耗盡型MOSFET的結(jié)構(gòu)和符號如圖1.(a)所示延窜,它是在柵極下方的SiO2絕緣層中摻入了大量的金屬正離子。所以當(dāng)VGS=0時抹锄,這些正離子已經(jīng)感應(yīng)出反型層,形成了溝道荠藤。于是伙单,只要有漏源電壓,就有漏極電流存在哈肖。當(dāng)VGS>0時吻育,將使ID進一步增加。VGS<0時淤井,隨著VGS的減小漏極電流逐漸減小布疼,直至ID=0。對應(yīng)ID=0的VGS稱為夾斷電壓币狠,用符號VGS(off)表示游两,有時也用VP表示。N溝道耗盡型MOSFET的轉(zhuǎn)移特性曲線 (插圖)
由于耗盡型MOSFET在uGS=0時漩绵,漏源之間的溝道已經(jīng)存在贱案,所以只要加上uDS,就有iD流通。如果增加正向柵壓uGS止吐,柵極與襯底之間的電場將使溝道中感應(yīng)更多的電子宝踪,溝道變厚,溝道的電導(dǎo)增大碍扔。
如果在柵極加負(fù)電壓(即uGS<0=瘩燥,就會在相對應(yīng)的襯底表面感應(yīng)出正電荷,這些正電荷抵消N溝道中的電子不同,從而在襯底表面產(chǎn)生一個耗盡層厉膀,使溝道變窄,溝道電導(dǎo)減小。當(dāng)負(fù)柵壓增大到某一電壓Up時站蝠,耗盡區(qū)擴展到整個溝道汰具,溝道完全被夾斷(耗盡),這時即使uDS仍存在菱魔,也不會產(chǎn)生漏極電流留荔,即iD=0。UP稱為夾斷電壓或閾值電壓澜倦,其值通常在–1V–10V之間N溝道耗盡型MOSFET的結(jié)構(gòu)圖和轉(zhuǎn)移特性曲線分別如圖所示聚蝶。
(2)P溝道耗盡型場效應(yīng)管
P溝道MOSFET的工作原理與N溝道MOSFET完全相同,只不過導(dǎo)電的載流子不同藻治,供電電壓極性不同而已碘勉。這如同雙極型三極管有NPN型和PNP型一樣。