光刻技術(shù) 光刻 一種將掩膜版的圖形轉(zhuǎn)移到襯底表面的圖形復(fù)制技術(shù)，光刻得到的圖形一般作為后續(xù)工藝的掩膜。 光刻膠 （光致刻蝕劑）是由高分子聚合物、...