隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展璧亮，干法刻蝕已經(jīng)成為工藝步驟中不可或缺的重要步驟，由于干法刻蝕對(duì)于薄膜材料具有良好的各項(xiàng)異性和選擇比，使得干法刻蝕在納米級(jí)和微...

?近年來(lái)故慈，電子束光刻的眾多優(yōu)勢(shì)凸顯出來(lái)，通過(guò)電子束直寫的形式將圖形直接轉(zhuǎn)移到晶圓上框全，不需掩膜版察绷，直寫線寬最小可達(dá)10 nm，然而這種方法也存在一...

表面分析技術(shù)是一種統(tǒng)稱津辩，指的是利用電子拆撼、光子、離子等與材料表面進(jìn)行相互作用喘沿，分辨范圍從微米級(jí)到納米級(jí)闸度，測(cè)量從表面散射或發(fā)射出來(lái)的各種離子、電子和...

?在感應(yīng)耦合等離子體刻蝕的工藝中莺禁，影響刻蝕形貌的因素很多，如：工藝參數(shù)里有源功率窄赋、RF功率哟冬、流量比、工作壓力忆绰、He壓浩峡、內(nèi)壁溫度。另外错敢，chill...

本篇筆記來(lái)源于日常實(shí)驗(yàn)工作中的某一個(gè)案例。 一、實(shí)驗(yàn)設(shè)備介紹 SUSS紫外光刻機(jī)是設(shè)計(jì)用于實(shí)驗(yàn)室研發(fā)预侯，小批量生產(chǎn)的高分辨率光刻系統(tǒng)致开。SUSS紫外...

超聲清洗是大功率超聲領(lǐng)域中最為普遍，應(yīng)用最為廣泛的清洗方法和應(yīng)用技術(shù)萎馅。超聲清洗不僅清洗效率高双戳、效果好，而且可以對(duì)復(fù)雜零件糜芳、半導(dǎo)體飒货、電子器件進(jìn)行清...

掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope峭竣，簡(jiǎn)稱SEM）塘辅，中文簡(jiǎn)稱掃描電鏡，是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微...

?電子束光刻有著較高的靈活性和分辨率皆撩，但在實(shí)際應(yīng)用中扣墩，設(shè)計(jì)的圖形與最終曝光得到的圖形都會(huì)存在一定的偏差。造成這一現(xiàn)象的原因有很多扛吞，除了工藝上的影...